小部件有大學(xué)問
2019-03-19 09:31:19
從智能手機(jī)到產(chǎn)業(yè)機(jī)器人大大縮短，再到超級(jí)計(jì)算機(jī)越來越重要，隨著應(yīng)用范圍不斷增加性能，半導(dǎo)體行業(yè)在蓬勃發(fā)展的同時(shí)相結合，其制程工藝也不斷快速提升全面闡釋。然而主動性，無論工藝如何改進(jìn)優勢，都離不開鹽酸積極、氫氧化鈉溶液、過氧化氫溶液技術交流，以及乙醇先進的解決方案，丙酮等各類高純度化學(xué)品的使用。
這些高純度化學(xué)品具有強(qiáng)酸創造更多、強(qiáng)腐蝕性等特性宣講活動，在其輸送系統(tǒng)原材料的選擇上，必須慎之又慎工藝技術。PFA和PTFE因擁有出色的物化性能而進(jìn)入人們的視野效率，它們具有抗酸抗堿、抗各種有機(jī)溶劑損耗、耐腐蝕等特點(diǎn)講故事，被視為半導(dǎo)體制程中化學(xué)品輸送系統(tǒng)的理想材料。
例如性能穩定，在半導(dǎo)體的CMP工藝中全面革新，Slurry輸送系統(tǒng)的部件就可選用PFA材質(zhì)。CMP又稱化學(xué)機(jī)械拋光情況正常，它能精確并均勻地把硅片拋光為需要的厚度和平坦度行業分類，其中，Slurry供應(yīng)系統(tǒng)與之關(guān)系密切提高鍛煉。作為一種特殊的化學(xué)研磨液發展邏輯，Slurry是由二氧化硅等微小顆粒懸浮在液體中形成的懸浮液，其供應(yīng)系統(tǒng)將持續(xù)為CMP提供制程所需的化學(xué)研磨液有所提升，一旦系統(tǒng)出現(xiàn)異常聽得進，會(huì)對(duì)CMP制程造成嚴(yán)重?fù)p失。
因此先進水平，Slurry輸送系統(tǒng)對(duì)閥門的選用要求嚴(yán)格便利性。比市場(chǎng)上同類產(chǎn)品相比，派克漢尼汾旗下的 22系列PFA膜閥重要平臺，能更好地符合用戶需求深刻認識。
雙密封點(diǎn)
Slurry有易結(jié)晶的特性，一旦在閥座密封處形成結(jié)晶應用提升，就會(huì)影響閥門的關(guān)閉功能主動性，造成泄漏故障。因此發展的關鍵，22系列膜閥采用膜片密封形狀設(shè)計(jì)基礎，形成雙密封點(diǎn)，能有效控制這類故障影響力範圍。在閥門關(guān)閉時(shí)的應(yīng)力測(cè)試圖中大局，可以觀察到雙密封點(diǎn)新創新即將到來，如果其中一處密封點(diǎn)失效，另一處密封點(diǎn)還將繼續(xù)工作有序推進，從而提高閥門的工作壽命設施。第三方的測(cè)試數(shù)據(jù)也很好地證明了這一點(diǎn)：在輸送鹽酸和硫酸時(shí)，工作壽命超過210萬次堅定不移；輸送純水時(shí)組合運用，超過300萬次；輸送Slurry時(shí)迎難而上，雙密封點(diǎn)的效果明顯積極，在系統(tǒng)無故障的條件下，工作壽命超過210萬次堅持先行。
滑梯狀流道
目前市場(chǎng)上應(yīng)用于Slurry閥門多數(shù)采用內(nèi)部無死角的自排放結(jié)構(gòu)產業，使閥門在不使用時(shí)能夠排空。22系列膜閥采用滑梯狀流道設(shè)計(jì)情況較常見，一定程度上減少了流體在閥門內(nèi)部的停留時(shí)間可持續，同時(shí)減小流體對(duì)閥體不同部位的應(yīng)力差，從而有效延長(zhǎng)閥體的壽命體製。
派克漢尼汾旗下的22系列PFA膜閥設(shè)計(jì)巧妙構建，質(zhì)量卓越，能夠符合半導(dǎo)體制程中化學(xué)品服務延伸、尤其是Slurry輸送的不同要求共創輝煌，更少的故障以及更長(zhǎng)的產(chǎn)品壽命將為客戶帶來更多的價(jià)值。
