PARKER: 微電子行業(yè)液冷管路解決方案
2022-05-27 20:09:04
在微電子行業(yè)中緊迫性,為了精準(zhǔn)控制各類制造、檢測類設(shè)備的溫度設計能力,液冷技術(shù)發(fā)揮著至關(guān)重要的作用總之。例如效果較好,在半導(dǎo)體晶圓制造過程中穩中求進,晶圓夾具必須配備液冷系統(tǒng)發展目標奮鬥,用以帶走由高能離子轟擊時產(chǎn)生的熱量組建,并控制晶圓溫度設施。否則需求,晶圓就有可能因溫度太高而造成光刻膠的網(wǎng)狀組織化。

由此可見組合運用,液冷系統(tǒng)不僅關(guān)乎設(shè)備的安全運(yùn)行和使用壽命更讓我明白了,還關(guān)乎最終產(chǎn)品的良率與性能迎難而上。在整個液冷系統(tǒng)的組件中,選用合適的管路及接頭非常關(guān)鍵探索。作為流體傳動行業(yè)“無泄漏”的先行者堅持先行,派克漢尼汾可為微電子行業(yè)的液冷系統(tǒng)提供多種高品質(zhì)流體連接解決方案,滿足不同設(shè)備的冷卻需求滿意度。
NSS 快換接頭
采用平齊端面閥芯情況較常見,斷開無溢流;大流量通流能力主要抓手,提供優(yōu)異的流量-壓降特性體製,冷卻性能穩(wěn)定、能耗低創新科技;采用對齊導(dǎo)向即插連接和套筒反推斷開設(shè)計探討,操作方便、不會意外斷開高效流通;不銹鋼材質(zhì),多種密封材質(zhì)和油口選項(xiàng)可選精準調控。
O-LOK不銹鋼接頭
采用端面 O 形圈軟密封功能,該密封圈嵌在派克特有的O形圈鍥形槽內(nèi),密封性能更加穩(wěn)定可靠解決。這不僅進(jìn)一步提升裝配安全性預期,還能更好實(shí)現(xiàn)無泄漏連接,優(yōu)化安裝和維護(hù)成本幅度。由于連接及密封性能高度可靠結構,它能進(jìn)一步減少微電子行業(yè)冷卻系統(tǒng)管路的重復(fù)安裝,降低維護(hù)成本貢獻。
PTFE軟管
PTFE系列軟管中的979BXT簡單化、929BJ、919B和 NCW/NCB 軟管可用于液冷管路明確了方向,采用PTFE芯管系統性,是因?yàn)槠渚哂辛己玫慕橘|(zhì)兼容性;靈活性好單產提升;抗扭結(jié)和耐真空傳遞;無RFI問題。
801軟管
PARKER801軟管是針對冷卻應(yīng)用而設(shè)計研發(fā)的多用途軟管產(chǎn)品勞動精神,可與多種水基冷卻介質(zhì)兼容開展攻關合作;與旗下的82系列Push-Lok接頭匹配,無需扣壓和抱箍預下達、易于安裝的有效手段,節(jié)省安裝時間和成本統籌推進;6種顏色可選,便于識別應用情況;801軟管采用本地化生產(chǎn)保護好,交期快,供應(yīng)安全表現。
目前特點,派克漢尼汾旗下的高品質(zhì)流體連接解決方案已在微電子行業(yè)得到成功應(yīng)用,性能表現(xiàn)深受客戶認(rèn)可結論。
01
國內(nèi)某半導(dǎo)體薄膜設(shè)備廠商為其潔凈室的去離子水冷卻系統(tǒng)選用NSS快換接頭和諧共生,與位于室外的循環(huán)過濾系統(tǒng)建立快速連接。
在這個應(yīng)用中適應性強,由于冷卻系統(tǒng)位于潔凈室技術交流,快換接頭在實(shí)現(xiàn)快速連接的同時,還要符合潔凈室生產(chǎn)要求拓展。NSS快換接頭材質(zhì)與去離子水兼容創造更多,耐腐蝕。
接頭斷開時端面基本無介質(zhì)殘留不斷進步,可減少污染物產(chǎn)生工藝技術,符合潔凈室生產(chǎn)要求;
連接夾氣量少規模,能降低冷卻系統(tǒng)的氣泡近年來;
插拔便捷,作業(yè)效率高節點。
此外通過活化,還可進(jìn)一步優(yōu)化冷卻管路壓降,提升系統(tǒng)能效的特點。
02
在與另一家國際知名的半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)商的合作中健康發展,派克漢尼汾攜手國內(nèi)分銷伙伴,為該行業(yè)客戶用于信號發(fā)射和芯片傳輸檢測設(shè)備的水冷系統(tǒng)提供管路系統(tǒng)解決方案最為突出。
憑借更為可靠的密封性能落實落細,O-LOK不銹鋼接頭為該系統(tǒng)提供無泄漏連接。同時高效化,在分銷伙伴的大力支持下製高點項目,產(chǎn)品交期準(zhǔn)時有保障,滿足客戶貨期要求範圍和領域,解除客戶后顧之憂有所增加。
此外,派克漢尼汾還可提供Legris 接頭和氣管、Rectus不銹鋼快換接頭和PS系列旋轉(zhuǎn)接頭等產(chǎn)品供客戶選擇越來越重要的位置。
