派克漢尼汾：神奇的“密封術(shù)” (FFKM全氟橡膠)
2022-06-13 10:05:17
在微電子行業(yè)設計能力，密封材料面臨嚴(yán)苛挑戰(zhàn)影響力範圍。它們既要從容應(yīng)對(duì)等離子效果、氣體共享、高溫、酸堿等不同腐蝕聯動，還要保持“纖塵不染”的高貴品質(zhì)技術，滿足行業(yè)對(duì)密封材料的高潔凈度要求基礎。否則，密封材料容易出現(xiàn)腐蝕奮戰不懈、溶脹市場開拓、老化等問(wèn)題，導(dǎo)致密封失效大大縮短。
派克漢尼汾旗下的FFKM（全氟橡膠）無(wú)懼嚴(yán)苛工況要落實好，它們擁有低顆粒物析出、高潔凈度更默契了、耐化學(xué)介質(zhì)及耐電離輻射等高品質(zhì)性能先進技術，耐受溫度可高達(dá)320℃，可為微電子行業(yè)提供高性能FFKM密封解決方案不合理波動。FFKM由優(yōu)質(zhì)的氟碳化合物組成深入，其中超高潔凈的FFKM在單獨(dú)的制造單元生產(chǎn)，保護(hù)材料不受塵埃前沿技術、模具涂料等污染，為材料潔凈度保駕護(hù)航性能。
針對(duì)微電子行業(yè)的具體應(yīng)用工況拓展基地，派克漢尼汾旗下不同系列的FFKM各有所長(zhǎng)，從而更好應(yīng)對(duì)微電子行業(yè)的苛刻工況實力增強。下面體系流動性，我們就來(lái)解鎖其中兩款FFKM，看看它們所擁有的神奇密封術(shù)吧帶來全新智能！
耐壓變
雖然FFKM耐高溫和耐化學(xué)腐蝕能力非常優(yōu)秀實現了超越，但耐壓變性能卻相對(duì)較差。在工作中去完善，如果密封件的回彈能力減弱發(fā)生形變橋梁作用，其橡膠特性就會(huì)受到嚴(yán)重影響，進(jìn)而導(dǎo)致泄漏求索。針對(duì)這一行業(yè)難題讓人糾結，派克漢尼汾推出ULTRA FF156。
在實(shí)驗(yàn)室穩定發展，我們將相同硬度的FF156和其他類似耐化學(xué)腐蝕的FFKM產(chǎn)品進(jìn)行耐壓變性能對(duì)比測(cè)試基石之一。
數(shù)據(jù)顯示，F(xiàn)F156在耐壓變性能方面優(yōu)于其他兩種材料增持能力，使用壽命更長(zhǎng)共同努力。相比FFKM其他系列材料，F(xiàn)F156兼具材料應(yīng)用價(jià)值和成本優(yōu)勢(shì)追求卓越。與普通氟橡膠逐漸完善、硅橡膠和AFLAS®相比，F(xiàn)F156承溫能力更強(qiáng)覆蓋，適合半導(dǎo)體等工作溫度超過(guò)204℃的應(yīng)用場(chǎng)合異常狀況。如下圖所示研究，當(dāng)FF156浸沒(méi)于乙二胺液體時(shí)，體積膨脹相對(duì)較小應用創新，耐化學(xué)腐蝕性能更優(yōu)異提高。
FF156耐熱水和耐蒸汽腐蝕性能也優(yōu)于普通FFKM。如果對(duì)耐蒸汽腐蝕有更高需求的特性，派克漢尼汾還提供FF580和FF582等高性能“耐蒸汽腐蝕的FFKM”交流。FF156可以制成O形圈或車削件等標(biāo)準(zhǔn)件，也可提供定制化密封件提供堅實支撐。FF156比FF580更有成本優(yōu)勢(shì)還不大，是同類產(chǎn)品中綜合性能比較突出的一種75 度的FFKM，符合半導(dǎo)體行業(yè)的密封需求取得明顯成效。
顆粒物析出約定管轄，抗腐蝕能力
在半導(dǎo)體的制造過(guò)程中，F(xiàn)FKM自身?yè)]發(fā)的化學(xué)物質(zhì)創新的技術，或在腐蝕性的氣體或化學(xué)物質(zhì)作用下產(chǎn)生的顆粒物析出發揮，都可能造成晶圓不良率的上升。等離子體在沉積快速增長、蝕刻和清潔過(guò)程中會(huì)接觸腐蝕性化學(xué)物質(zhì)開放以來，即便高性能的全氟密封件也會(huì)面臨挑戰(zhàn)。由于密封件的顆粒物析出或抗腐蝕性能會(huì)影響半導(dǎo)體不良率甚至導(dǎo)致故障停機(jī)高質量，因此提供了有力支撐，這些特性對(duì)于半導(dǎo)體工藝至關(guān)重要。
派克漢尼汾旗下的Ultra? FF302 FFKM在CVD和蝕刻工藝中的成功應(yīng)用前景，讓其成為同類產(chǎn)品中的佼佼者進一步意見。
1、通常大大提高，半導(dǎo)體行業(yè)的密封材料會(huì)對(duì)低顆粒物析出或抗腐蝕能力進(jìn)行優(yōu)化的必然要求，而Ultra?FF302同時(shí)具備這兩種屬性。
實(shí)驗(yàn)室測(cè)試表明取得了一定進展，與當(dāng)今先進(jìn)的彈性體材料相比完善好，Ultra FF302在腐蝕性等離子體化學(xué)物質(zhì)中的腐蝕程度更低。（下圖展示了不同耐腐蝕性能的FFKM暴露于O2等離子體后的腐蝕水平）
2積極參與、Ultra FF302不僅實(shí)驗(yàn)結(jié)果出色問題分析，實(shí)際應(yīng)用的表現(xiàn)也很出色。
在使用NF3和O2等離子體進(jìn)行清潔交流研討，沉積SiH4的化學(xué)氣相沉積（HDP-CVD）工藝中更加完善，一家制造商使用行業(yè)領(lǐng)先的密封件，還是發(fā)生了明顯腐蝕。如下圖所示支撐作用，材料I和II發(fā)生嚴(yán)重降解日漸深入，約20%的密封材質(zhì)受到侵蝕；而在相同的使用時(shí)間內(nèi)同時，F(xiàn)F302 O形圈即使在易腐蝕的位置也沒(méi)有受到侵蝕互動式宣講。（下圖展示了在單月產(chǎn)能60000片晶圓的工廠中，經(jīng)過(guò)一個(gè)月的HDP-CVD工藝后模式，不同F(xiàn)FKM O形圈的截面圖）
事實(shí)上開展，派克漢尼汾技術(shù)團(tuán)隊(duì)在其他半導(dǎo)體制造廠也看到過(guò)這種情況。FF302-75的實(shí)驗(yàn)表明發揮重要帶動作用，它能夠耐受具有強(qiáng)腐蝕性的蝕刻和清潔化學(xué)成分意向。因此，越來(lái)越多的半導(dǎo)體行業(yè)客戶開(kāi)始采用FF302文化價值，以降低成本形式。
高性能的FFKM材料可以保護(hù)半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，使其不受腐蝕性液體不斷完善、氣體進一步提升、溫度和壓力影響。派克漢尼汾可為表面清潔營造一處、蝕刻、HDPCVD知識和技能、PECVD取得顯著成效、CVD、PVD及ALS 等多個(gè)工藝流程提供高品質(zhì)FFKM O形圈和其他定制件實現，以滿足客戶的應(yīng)用需求不容忽視。
